中微公司发布用于深紫外LED量产的MOCVD设备
发布日期:2020-07-30        



 

中微公司(688012)今日宣布推出PrismoHiT3?MOCVD设备,主要用于深紫外LED量产。

 

据介绍,中微Prismo系列MOCVD设备目前已进入全球大多数领先的蓝绿光LED制造商,此次推出的PrismoHiT3?是中微Prismo系列MOCVD设备的最新产品。该设备是适用于高质量氮化铝和高铝组分材料生长的关键设备,反应腔最高温度可达1400度,具有优异的工艺重复性、均匀性和低缺陷率。该设备同时也为高产量而设计,单炉可生长18片2英寸外延晶片,并可延伸到生长4英寸晶片。

 

据悉,中微公司PrismoHiT3?MOCVD设备早期的客户包括国内领先的深紫外LED制造商马鞍山杰生半导体有限公司,该公司的深紫外LED在家用、医疗和科研设备等领域有广泛应用。

 

资料显示,深紫外光几十年前就被应用于工业和民用消毒杀菌领域。它通过破坏细菌和病毒的DNA使其丧失繁殖能力来发挥作用。深紫外LED被用于不同波长的杀菌灯中,且与传统的汞灯相比对环境无污染。类似SARS、MERS和新冠病毒的出现使得深紫外LED产品的需求激增,深紫外LED产品可以消灭这些新生微生物。波长260-280nm的UVC波段的深紫外光就是目前该领域最先进的技术解决方案(例如杰生半导体的深紫外LED产品)。

 

“我们现在已经看到了深紫外LED带来的切实好处,它已成为消灭有害病原体的重要工具。”杰生半导体有限公司董事长康健表示,“中微公司设计的PrismoHiT3?MOCVD设备可以满足深紫外LED大批量、低生产成本的制造需求。中微公司凭借其世界一流的工艺专长和高性能的MOCVD设备解决方案,是值得信赖的合作伙伴。”

 

中微公司执行副总裁兼首席运营官杜志游介绍,中微自主研发的PrismoHiT3?MOCVD设备延续了现有Prismo平台已验证的主要创新功能,并提升了可在高温工艺环境下生长氮化铝基材料的性能,使之拓展到深紫外LED的应用。杰生半导体致力于持续发展LED技术并创造有益于人类健康的产品,很荣幸中微的设备解决方案能够助力客户研发下一代深紫外LED产品,并在技术研发和成本控制上帮助客户达成目标。

 

资料显示,中微公司致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。公司的等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户从65纳米到5纳米工艺的众多刻蚀应用;公司开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备已在客户生产线上投入量产,目前已在全球氮化镓基LEDMOCVD设备市场占据领先地位。

 


来源:金融界
点击查看网络原文>>

版权所有@ 北京市电子科技情报研究所 京公网安备 11010102003025号

地址:北京市东城区北河沿大街79号  邮编:100009  Email:bjdzqbs@126.com

在线人数:212

当日访问计数:9934

累计访问计数:60078469