依赖日制氟化氢时代结束? 三星电子成功将替代品投入制程
发布日期:2019-09-11        



自日本将韩国剔除白色名单后,韩国企业陆续采取应对措施,三星电子开始撤换部分日本氟化氢产品,并成功将替代品投入部分制程。

 

据韩媒《国民日报》报导,三星电子部分半导体制程中,已将日制氟化氢的替代品投入部分制程中。三星电子引进大陆、台湾的原料,并制成半导体制程用材料,上个月中旬开始投入部分制程。多位业界人士透露,三星电子依照测试完成产品顺序,量产后投入制程。

 

日本自7月加强对韩出口限制,氟化氢、氟化聚酰亚胺、光刻胶皆被列入出口管制类别,导致三星电子未来引进Stella Chemifa、森田化学等日本企业的产品恐受阻,因此三星电子携手韩国企业SoulBrain、ENF TECHNOLOGY,合力制造替代品。

 

过去这两家企业主要从日本Stella Chemifa、森田化学进口氟化氢,提炼蚀刻液体后,再交予三星电子,因此拥有一定的技术能力。

 

另一方面,SK海力士也正在加快脚步。《国民日报》指出,SK海力士取得相当数量的替代材料。过去提供SK海力士氟化氢的韩国企业RAM TECHNOLOGY透露,已提供SK海力士数百吨的原料。

 

外界预期,月底韩国制造完一批氟化氢,能够替代日制产品,未来SoulBrain工厂扩建完工后,将能提供更多氟化氢给三星电子、SK海力士。SoulBrain过去主要精炼Stella Chemifa的氟化氢,同时也引进中国原料开发相关技术,因此拥有制造高浓度氟化氢的技术,产量与质量也已获得认可。


来源:SEMI
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