清华大学采购4批科研仪器 堀场(中国)等拔得头筹
发布日期:2019-01-31        

主题词科研仪器 ; 采购



近日,从政府采购网最新资讯获悉,清华大学斥资四批次采购仪器项目助力科研创新水平提升。本次共采购包括“清华大学高分辨拉曼光谱仪项目”、“清华大学金属刻蚀机”项目、“清华大学等离子增强化学气相沉积系统”项目、清华大学电感耦合等离子增强化学气相沉积系统”等四批项目。
 
 

公告显示,4批次项目共采购AFM原子力显微镜、压电XYZ闭环激光束扫描器、加热用激光器耦合光路、金属刻蚀机、等离子增强化学气相沉积系统、电感耦合等离子增强化学气相沉积系统等科研仪器设备。结果显示,堀场(中国)、慧创(北京)仪器设备、安科瑞泰科技等知名企业分别以296万元、299.6万元、239.2万元、219万元成功中标。其中,慧创仪器设备顺利中标金属刻蚀机、等离子增强化学气相沉积系统两项项目,成为本次采购的最大赢家。

 

据介绍,最新采购的系列仪器技术先进,工艺完善,应用广泛。高分辨拉曼光谱仪可测量各种低维纳米材料的拉曼信号,表征材料分子结构,通过拉曼光谱的频移实现温度测量。根据国家重大科研仪器研制项目的需求,利用拉曼光谱仪实现纳米材料的瞬态测温,开发热扩散率测试仪器。金属刻蚀机主要用于微纳加工工艺中8英寸及以下基片上的多种金属薄膜材料的刻蚀工艺。等离子增强化学气相沉积系统在半导体衬底或有机衬底上沉积高质量的介质薄膜,包括:氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy薄膜等。


来源:OFweek仪器仪表网
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